近日，松山湖材料實驗室微加工與器件平臺順利通過ISO9001質(zhì)量管理體系資質(zhì)認證。這張進入更廣大市場的“通行證”，意味著實驗室可為高校、科研機構(gòu)和企業(yè)提供穩(wěn)定、標準、高可靠的半導體材料與器件的設計開發(fā)和微納加工服務，是對微加工與器件平臺管理水平、加工技術(shù)和服務質(zhì)量達到國際標準的綜合認可。
△ISO9001質(zhì)量管理體系是一套由國際標準化組織提出、各國企業(yè)廣泛認可、具有國際權(quán)威性和通用性的整體管理體系和標準。
科學管理體系“護航”，把好工藝質(zhì)量關(guān)
“我們在對接周邊企業(yè)時，企業(yè)多次談及批量加工的需求，而承接批量訂單的前提，就是需要我們平臺與該企業(yè)有著同樣的質(zhì)量標準?！庇兄嗄昶髽I(yè)高管經(jīng)驗的微加工與器件平臺骨干負責人汪洋博士坦言，除了先進的儀器設備和專業(yè)的技術(shù)團隊，一套科學規(guī)范的管理體系能夠為平臺更好地服務于科研與產(chǎn)業(yè)保駕護航。
今年1月以來，平臺建立了適用于ISO質(zhì)量體系運行的組織構(gòu)架，頒布了平臺級質(zhì)量手冊，并擬定了多項程序文件、作業(yè)規(guī)范及表單記錄，對平臺全體成員展開多輪培訓，經(jīng)過九個月的運行實踐和持續(xù)優(yōu)化，最終通過了第三方認證機構(gòu)的審核，全員參與的全過程管理模式漸已形成。
△標準化作業(yè)黃光間
△標準化作業(yè)黃光間
“科學的管理體系是保證工藝技術(shù)能夠穩(wěn)定、一致、可靠的前提，這個基礎務必夯實。”平臺負責人賈海強研究員在化合物半導體器件工藝研究、重大項目以及產(chǎn)業(yè)化技術(shù)轉(zhuǎn)移方面具有豐富經(jīng)驗，他表示，“隨著平臺建設與能力提升，陸續(xù)有新的工藝設備通過驗證、投入使用，需要同步做好工藝質(zhì)量把控工作，不斷將新設備、新工藝納入到質(zhì)量體系范疇中來?！?/p>
△8寸硅晶圓刻蝕工藝
△6寸鍍膜工藝
通用性和個性化服務，與產(chǎn)業(yè)“同頻共振”
隨著粵港澳大灣區(qū)國際科技創(chuàng)新中心的推進建設和大灣區(qū)綜合性國家科學中心先行啟動區(qū)（松山湖科學城）的全面啟動，科技與產(chǎn)業(yè)對接、轉(zhuǎn)化的新模式、新業(yè)態(tài)不斷涌現(xiàn)。例如，一些新興科技企業(yè)，擁有自主技術(shù)、特定產(chǎn)品應用場景和供銷渠道，但在成立初期尚不能搭建產(chǎn)線，往往會采用輕資產(chǎn)模式運行，其生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)相對薄弱；而平臺設備工藝能力就是這種運營模式的基礎支撐和重要補充。
“利用好平臺資源為這些新興需求提供更有品質(zhì)的服務，我們一直在踐行探索。我們將持續(xù)打造在半導體材料器件設計及微納加工領域有影響力的公共技術(shù)平臺，也歡迎更多有需求的企業(yè)和單位前來交流合作?！辟Z海強研究員展望道。
作為實驗室開放服務的公共技術(shù)平臺之一，微加工與器件平臺現(xiàn)有超凈實驗室面積超1000平方米，對外共享儀器設備達48臺/套，研究團隊42人，其中研究員與高級工程師8人、工程師與助理工程師12人。自2020年9月正式對外開放運行以來，累計服務了50家單位88個團隊，注冊用戶500余人。
微加工與器件平臺
立足于微納加工技術(shù)前沿及半導體器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢，松山湖材料實驗室微加工與器件平臺正在加速建成集先進材料加工、器件工藝制備及特殊工藝開發(fā)為一體的綜合性研發(fā)平臺，可為微電子器件、光電子器件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等領域，實現(xiàn)新材料從微米到納米甚至原子級別的結(jié)構(gòu)與器件的可控加工與測試，為客戶提供個性化的工藝技術(shù)服務及器件解決方案。